前言Ⅲ
引言Ⅳ
1 范围1
2 规范性引用文件1
3 术语和定义1
4 要求1
5 装置1
5.1 测试系统1
5.2 犚S 测试腔体2
5.3 介质柱2
6 测试步骤4
6.1 样品准备4
6.2 系统构建4
6.3 参考电平的测试4
6.4 谐振器频响特性的测试5
6.5 超导薄膜的表面电阻犚S、标准蓝宝石柱的ε′和tanδ 的确定6
7 测试方法的精密度和精确度7
7.1 表面电阻7
7.2 温度7
7.3 样品和支撑结构8
7.4 样品的保护8
8 测试报告8
8.1 被测样品的标识8
8.2 Rs 值报告8
8.3 测试条件报告8
附录A (资料性附录) 与第1章~第8章相关的附加资料9
参考文献17
图1 使用制冷机测试犚S 随温度变化特性的装置图2
图2 典型的犚S 测试腔体示意图3
图3 犜(K)温度下的插入损耗犐犃、谐振频率犳0 和半功率点带宽Δ犳5
图4 反射系数(犛11和犛22) 6
图5 表4中术语的定义7
图A.1 各种测量微波表面电阻犚S 方法结构示意图9
图A.2 两端由两片沉积在介质基片上的超导薄膜短路圆柱形介质谐振器的几何结构11
图A.3 TE01狆模式的狌?狏和犠?狏关系的计算结果11
图A.4 测量犚S、tanδ 的标准介质柱的电磁场结构12
图A.5 三种形式的谐振器的结构示意图12
图A.6 设计平行超导薄膜两端短路的TE011谐振器的模式图[20] 13
图A.7 设计平行超导薄膜两端短路的TE013谐振器的模式图[20] 14
图A.8 闭合式TE011谐振器的模式图15
图A.9 闭合式TE013谐振器的模式图16
表1 12GHz、18GHz、22GHz时标准蓝宝石介质柱的典型尺寸4
表2 12GHz、18GHz、22GHz时超导薄膜的尺寸4
表3 矢量网络分析仪的参数7
表4 蓝宝石介质柱参数7